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示蹤氣體法半導體制造設備通風(fēng)性能監測系統

簡(jiǎn)要描述:隨著(zhù)現代化和城市化進(jìn)程的日益加深,人們在室內的時(shí)間越來(lái)越多,因而對室內空氣品質(zhì)的要求也日益提高。
室內空氣品質(zhì)取決于很多方面,包括溫濕度、二氧化碳、揮發(fā)性有機化合物的濃度等。而用于調節和改善室內空氣品質(zhì)的有效方式之一就是示蹤氣體法半導體制造設備通風(fēng)性能監測系統。

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應用領(lǐng)域環(huán)保,化工,農業(yè),石油,能源11

示蹤氣體法半導體制造設備通風(fēng)性能監測系統概述

隨著(zhù)能量效率的提高,以及排氣通風(fēng)設施的物理限制變得更加明顯,半導體設備的排氣通風(fēng)的優(yōu)化變得越來(lái)越重要。設備的排氣通風(fēng)設計不合理,可能會(huì )造成操作人員的傷亡,引起設備乃至整個(gè)工廠(chǎng)的燒毀。

半導體行業(yè)需要測量機臺通風(fēng)效率,滿(mǎn)足SEMI S6 Ventilation行業(yè)標準。

SEMI S6 Ventilation是使用示蹤氣體測定逸散性排放的試驗方法,考量含 HPM或易燃易爆氣體的半導體裝備通風(fēng)效率。

SF6作為示蹤氣體模擬泄漏氣體,因此,對SF6檢測儀的檢測精度要求較高。



檢測方案

高靈敏度的光聲光譜氣體檢測系統,是一套用于在線(xiàn)實(shí)時(shí)測量示蹤氣體濃度變化,從而評估通風(fēng)效率的準確、可靠、高效的解決方案。

光聲光譜氣體分析儀可以同時(shí)檢測最多9種氣體和水汽,檢測氣體種類(lèi)是從一個(gè)超過(guò)300種的氣體數據庫中由用戶(hù)選擇。除了SF6等示蹤氣體之外,還可以同時(shí)檢測室內其它的氣體濃度,比如CO2、甲醛、苯系物等VOC,為評價(jià)半導體機臺通風(fēng)效率提供更多的數據支持。

整個(gè)測量系統由光聲光譜氣體檢測儀、多點(diǎn)采樣器、專(zhuān)用軟件組成;在用戶(hù)要求的情況下,還可以集成釋放裝置MFC,管路等一體化解決方案。


示蹤氣體法半導體制造設備通風(fēng)性能監測系統特性

  • 光聲光譜法原理,懸臂梁探測技術(shù)

  • 可同時(shí)測量SF6等多種示蹤氣體及VOC

  • 檢測限低,測量精度高(ppb)

  • 測量響應快

  • 多點(diǎn)采樣器,可擴展12-64個(gè)采樣點(diǎn)

  • 無(wú)需預處理、無(wú)耗材、無(wú)載氣

  • 可定制釋放裝置和管路


應用

  • 半導體制造設備通風(fēng)性能檢測(國際半導體協(xié)會(huì )SEMI S6標準)

  • SF6泄露檢測


 
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